第二百八十四章 技術路線(第2/4 頁)

甚至因為阿美利肯的打壓長期都無法創造效益，因此除了新芯光刻機股份之外，還給了對方新芯科技晶片代工這一板塊的期權。

這是臺積電絕對開不出的待遇。

林本堅聽完後說：“我本來也打算和你說我的想法，我正打算和新芯光刻機的同事們一起寫幾篇論文發給你，說服你選擇浸沒式，好吧你叫浸沒式，其實我們打算叫它溼法光刻機。”

是的，林本堅也打算在新芯光刻機130n製程工藝的光刻機上採取浸沒式的技術路線。

周新聽完後倒也沒有特別驚訝，作為光學領域的頂級牛人，林本堅能想到溼法並不奇怪，周新問起另一個問題：“為什麼要爭取我的同意？

之前我們在溝通要做光刻機這件事的時候，不就說好了，我不會干預新芯光刻機的經營，經營全權交給你嗎？”

林本堅點頭：“之前我們確實是這樣溝通的，但是現在情況又不一樣，要走溼法光刻機的路線，是在和全世界為敵。

我們需要說服光刻機各種元器件的供應商，尤其是蔡司，和我們配合，我們做過溼法光刻機的預研究工作。

和乾式光刻機相比，我們需要改變鏡頭組，之前的透鏡組合可能無法滿足我們的需要。

中間還涉及大量的技術性工作，比如說水放進去之後空氣可能會產生氣泡，水必須非常均勻，但是實際上會有光照到水上，光照到水上會產生溫差，溫差就會導致水不均勻。水不均勻會進一步影響到成像。

中間有大量技術性工作要做，新芯光刻機的體量太小，過去的時間裡業內在乾式光刻機領域投入了超過十億美元的研發費用，我們現在相當於完全另起爐灶。

溼法光刻機是否真的能達到我們預期的效果，我不確定。

這是賭上新芯光刻機的命運。”林本堅眼神中展露出從未有過的認真。

這麼說，這條技術路線賭贏了，手握大量技術專利，即便再透過瓦森納協定卡脖子，一來可以出售專利給其他光刻機公司，然後繼續在這一技術路線上繼續研發，積累技術優勢，構建自己的專利牆。

二來其他公司到時候做轉向的時候，asl、佳能、尼康處於同一起跑線，asl不會那麼快形成壟斷，新芯光刻機能買到一些技術。

周新聽完後想起原時空中林本堅在臺積電工作的時候堅持要走浸沒式光刻機路線，也沒有聽說當時林本堅經歷過如此激烈的內心鬥爭啊。

周新再一思考，覺得是因為之前屬於是幫臺積電打工，自己無論乾的怎麼樣拿的都差不多，自然會有學術上的堅持，賭性會更強，輸了自己的損失有限。

現在新芯光刻機也有他的一份，技術路線一旦選錯，失去的時間可再也回不來，損失是自己的。

周新在思考，林本堅見對方不說話，繼續說：“其實我一直很猶豫，因為乾式光刻機大家都在走這條路，業內的同行業公司他們都是研發乾式光刻機。

沒有誰考慮過溼法光刻機，一來是因為溼法光刻機是一個很冷門的技術路線，麻省理工學院林肯實驗室的斯威特克斯和羅斯柴爾德兩位研究員做過類似的研究，他們嘗試過各種液體，都不太合適。”

周新打斷道：“要用水，水的折射率是最合適的，只有水可以。”

林本堅鼓掌：“不愧是newan，在一切事物上都是如此敏銳，沒錯我們也發現水才是最合適的。

因為水是半導體生產中要用到的大量液體，不存在接受度的問題。

而且我們在做預研究的時候測過水的折射率，146，這個折射率很合適，現在193奈米的波長透過水折射之後可以變成132奈米，直接跳過了157奈米，避開了這個困難，這真是上天的奇妙安排。”