第48章 是不是意味著AS公司的人也太蠢了點？（求追讀）(第1/3 頁)

“我自己設計的。”

駱垚的眼睛和楊明的眼睛開始對視。

駱垚眼中一絲情緒都沒有，楊明看不穿駱垚的想法，但直覺告訴他這事如果真是駱垚幹出來的，那可以入選天方夜譚故事集選了。

楊明試探的問道：“小同志，這事情可不能開玩笑，euv光刻機光源系統這套技術現在連斯喀戎那邊都沒有掌握，你確定是你自己設計的？”

駱垚早就知道對方有此一問，所以很快地說起了原理：“光刻機一般分兩種，一種是duv，而另一種就是euv，duv使用的光源波長是193奈米，而euv使用的是135奈米波長的光源。”

“根據瑞利判據r=d/122，可以得出，光學系統能夠分辨的尺寸和波長成正比。”

“所以如果要製造更小尺寸的晶片，就需要更短波長的光，也就是euv的光源。”

“實際上我們都知道euv的光源使用的還是193奈米的光，但是用它去連續擊打兩次液態金屬錫，就能得到135奈米的光。”

“截止到這裡都很簡單，不過最難的是它的光路系統中的零件，也就是透鏡。”

楊明邊聽邊點頭。

透鏡的成本佔到了整個光刻機的40左右，成本相當高昂。

光刻機的透鏡就跟照相機鏡頭，由不同形狀的鏡片組成。

如果想更好的理解光刻機，也可以說它是一臺大型的照相機。

不同的是，普通的照相機是來拍妹子的，而光刻機則是用來把積體電路圖形透過曝光顯影的原理，複製到晶圓上。

所以透鏡就和照相機鏡頭一樣，主打就是一個貴字。

就是打月亮的神鏡頭，都要叫光刻機透鏡一聲爸爸。

光刻機上面現在有二十多塊透鏡，現在能造出來的只有三家國外工廠，華國這邊則還在研發中。

“當初這透鏡就難倒了我們，長機那邊產的透鏡，透光率和光滑程度再怎麼做也做不到外國那樣，光源在上面反射出來的效果根本沒法用。”楊明說到這個事情就覺得傷心。

“70年代我們沒有搞半導體真的失去太多了。”楊明感嘆道。

駱垚看著楊明那一張滿藏遺憾的臉，想了想，決定攤牌了：“透鏡的技術難點其實都在這個硬碟裡面。”

說著，駱垚將他的紅色硬碟拿了出來，放在了會議桌上。

會議室內其他四個人都看著桌上的紅色硬碟，默不出聲。

頂尖的透鏡技術都在紅色硬碟裡面？

這怎麼可能？

就在大家猶豫的時候，饒慧靈坐不住了，她伸手拿過了硬碟。

“我們先來看看再說。”

饒慧靈拿過電腦接入硬碟，開始看了起來，不一會兒她就不可思議地看著螢幕說：“透鏡的光學晶體極為特殊，只有高純稀土鹵化物中晶體成品的效能才能符合要求。”

“駱垚，這一條你是怎麼得出來的？”

“計算。”

“每一種稀土的晶體影響結果我都進行過計算，最終鎖定了高純稀土鹵化物。”

楊明聽到聽到這裡有些激動地說：“確實是高純稀土鹵化物沒有錯，這個之前我們也計算過。”

“伱們看下，這份文件不光包括了透鏡技術還有光刻膠技術、工作臺系統、投影物鏡系統、掩模臺系統、自動校準系統…光刻機所有工程檔案基本上都在裡面。”

聽到饒慧靈這麼說，楊明一臉嚴肅的接過了電腦和旁邊的人一起看了起來。

整個檔案不僅有技術、原理，甚至還包括了每一個零件的尺寸大小！

連一顆螺絲釘的規格、材質都寫的清清楚楚。

說直白